，依托MEMS微纳工艺，可在毫米级硅片🤺。
环境温度升高时，硅内部载流子热运动加剧🍾🔭。
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，依托MEMS微纳工艺，可在毫米级硅片🤺。
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环境温度升高时，硅内部载流子热运动加剧🍾🔭。
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