依托MEMS微纳工艺,可在毫米级硅片上加工出微米、纳米级的敏感微结构,实现器件极致轻量化与超高精度感知重庆试管私立机构。
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依托MEMS微纳工艺,可在毫米级硅片上加工出微米、纳米级的敏感微结构,实现器件极致轻量化与超高精度感知重庆试管私立机构。
发表 : AdminGBM
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发表 : AdminVKSXO
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发表 : Admin